Tấm silicon bán dẫn đa tinh thể
Các tấm wafer kiểm tra hoặc giám sát là loại wafer tốt thứ hai. Mặc dù vậy, chúng tương tự như các tấm silicon chất lượng cao, ngoại trừ chúng rẻ hơn. Các tấm wafer kiểm tra hoặc giám sát kém chính xác hơn so với các tấm wafer cấp chính, nhưng nhìn chung, các tấm wafer cấp thử nghiệm chỉ có một số tính năng không phàn nàn. Các tấm wafer silicon cấp thử nghiệm rất phù hợp để thử nghiệm thiết bị, quản lý kiểm soát chế tạo chất bán dẫn, thử nghiệm, v.v.
Mô tả
Sự miêu tả
Các tấm wafer kiểm tra hoặc giám sát là loại wafer tốt thứ hai. Mặc dù vậy, chúng tương tự như các tấm silicon chất lượng cao, ngoại trừ chúng rẻ hơn. Các tấm wafer kiểm tra hoặc giám sát kém chính xác hơn so với các tấm wafer cấp chính, nhưng nhìn chung, các tấm wafer cấp thử nghiệm chỉ có một số tính năng không phàn nàn. Các tấm wafer silicon cấp thử nghiệm rất phù hợp để thử nghiệm thiết bị, quản lý kiểm soát chế tạo chất bán dẫn, thử nghiệm, v.v.
Sự chỉ rõ
|
KIỂU |
TẠP CHẤT |
ĐỊNH HƯỚNG |
ĐIỆN TRỞ (Ohm-cm) |
ĐỘ DÀY (ừm) |
MẶT SAU |
TTV (ừm) |
CĂN HỘ |
HẠT |
Số kiểm soát |
|
P |
BORON |
<100> |
1-30 |
675±25 |
khắc |
Nhỏ hơn hoặc bằng 10 |
1 Jeida |
<=10@>=0.3 |
PG20 |

Chú phổ biến: wafer silicon bán dẫn đa tinh thể
Gửi yêu cầu
Bạn cũng có thể thích


