Bột silicon cacbua siêu nhỏ

Bột siêu nhỏ cacbua silic được làm từ cacbua silic bằng thiết bị nghiền. Tuy nhiên, trong quá trình nấu chảy và nghiền cacbua silic, không thể tránh khỏi việc lẫn các tạp chất khác nhau. Những tạp chất này sẽ ảnh hưởng lớn đến chất lượng sản phẩm được xử lý và hiệu suất của các thiết bị bán dẫn được sản xuất trong quá trình sử dụng silic bột cacbua, làm tăng tỷ lệ phế phẩm và giảm chất lượng gia công bề mặt của sản phẩm gia công. Do đó, vấn đề loại bỏ tạp chất trong bột cacbua silic phải được giải quyết.

Các tạp chất của bột cacbua silic chủ yếu bao gồm carbon, oxit sắt, oxit nhôm, oxit canxi, oxit magiê và silicon dioxide. Khi các chất này được sử dụng cho các mục đích khác nhau trong bột cacbua silic, chúng có tác dụng khác nhau, trong đó Fe2O3 là tác dụng chính. Để loại bỏ tạp chất trong bột cacbua silic, axit có thể được thêm vào để loại bỏ tạp chất trong quá trình sản xuất. Phương pháp này có chi phí thấp và tỷ lệ loại bỏ tạp chất cao, được các nhà sản xuất bột cacbua silic yêu thích.